霍尼韋爾氣體探測器在半導(dǎo)體制造行業(yè)的選擇,在剛剛結(jié)束的兩會期間,“新質(zhì)生產(chǎn)力”成為熱議話題。映射到半導(dǎo)體領(lǐng)域,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代科技的重要支柱,是發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力的重要驅(qū)動因素。在政策驅(qū)動以及市場需求升級的大背景下,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迎來嶄新的發(fā)展機遇,同時也面臨諸多挑戰(zhàn)。

在半導(dǎo)體制造行業(yè)中,半導(dǎo)體的生產(chǎn)工序十分繁復(fù),包括光刻、刻蝕、離子注入、薄膜沉積、清洗等工藝流程,涉及到的特種氣體約50余種,不乏有毒有害氣體如PH3、HF、AsH3等,一旦泄漏將對人員和財產(chǎn)造成不可估量的損失,有毒氣體探測成為半導(dǎo)體行業(yè)安全生產(chǎn)的挑戰(zhàn)之一。

半導(dǎo)體制造工廠通常設(shè)置有生產(chǎn)區(qū)、倉儲區(qū)、動力輔助區(qū)、氣體站等,在超高純特氣管道系統(tǒng)的輸送以及存儲過程中、半導(dǎo)體的生產(chǎn)加工以及尾氣排放等流程中,均應(yīng)密切監(jiān)測有毒氣體濃度,確保人員財產(chǎn)安全。

為了滿足不同場景的檢測需求,霍尼韋爾擁有豐富的產(chǎn)品線,通過先進技術(shù)和設(shè)備精準(zhǔn)布局,可以在各個階段提供出色的氣體安全保護,來看看霍尼韋爾有哪些氣體探測器吧!

Midas氣體探測器:

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Midas系列是適用于半導(dǎo)體工業(yè)及其它一般工業(yè)所使用的有毒氣體以及可燃?xì)怏w的高靈敏、高可靠度的氣體探測器。

Midas系列基于電化學(xué)原理,ppm百萬分之一級別氣體偵測,廣泛覆蓋40多種氣體,最長可達(dá)30米采樣距離。它包含單點、四合一和防爆型多種型號氣體探測器,擁有較長的免校準(zhǔn)周期、靈活的通訊模式、操作輕松、維護便捷,大大降低了氣體探測所需要的成本。

Vertex C有毒氣體檢測系統(tǒng):

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集結(jié)了眾多工業(yè)設(shè)計巧思的Vertex C有毒氣體檢測系統(tǒng),同樣在半導(dǎo)體、太陽能光伏等高科技產(chǎn)業(yè)中廣受好評。它最多可以支持96點的氣體偵測,偵測點采樣流量達(dá)到2.2LPM。

搭載霍尼韋爾首創(chuàng)的Chemcassette技術(shù),Vertex C有毒氣體檢測系統(tǒng)的精確度高達(dá)十億分之一(ppb),氣體泄漏響應(yīng)迅速,危險無處遁形!

Vertex VC4有毒氣體檢測儀:

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同樣搭載Chemcassette紙帶氣體偵測技術(shù)的還有Vertex VC4有毒氣體檢測儀,它設(shè)置有4個檢測點的氣體檢測系統(tǒng),可連續(xù)同時偵測四個點位,采樣距離可達(dá)120米,每個測點的采樣流量達(dá)到2.8LPM,可滿足最新的臺灣地區(qū)EPA要求。

除此外,它還采用高效的模塊化設(shè)計,小巧的機體使用戶操作和維護更加便捷。